クリーンルーム内への搬入・据付

クリーンルーム内への搬入・据付作業は半導体関係会社からの引き合いが多く、当社の得意とするところです。作業は、クリーンルームに入る前に、全室で機材・装置を開梱し、クリーンアップを行ってから、クリーンルームへ搬入し、発塵しないように注意を払っています。また、クリールーム用の機材としては、ジャッキ、ハンドフォーク、養生生など、カスタマイズされた機材を豊富に取り揃えております。
クリーンルーム作業 クリーンルーム作業
クリーンルームでの作業の様子。厳密な清浄さを保つため、装備の性能とともにスタッフの細心さが問われます。

作業事例

半導体露光装置搬入据付作業
クリーンルーム内
半導体露光装置搬入据付作業
10t空調車6台、4t空調車1台、50tラフター、8tフォークリフト、ゴンドラ、1.5t電気フォークリフト、4日間で計50名を使用して、半導体露光装置の輸送・搬入・据付作業を行いました。
安全衛生協議会があり、作業の前の週にリスクアセスメント会議を行いますので、作業計画書を作成し発表しました。ゴンドラも構造計算されたものを使用しました。
当日の作業としては、8tフォークリフトにより、本体をトラックから卸し、ゴンドラに載せ、50tラフターにて、3Fに搬入しました。前室にてクリーンアップを行った後、クリーンルームに入れるのですが、設置場所はさらにクリーン度の高いクリーンルームとなっており、さらに70cm高いアクセスフロアとなっているため、電動リフター、スロープ、ステージ、テーブルリフターを使用して、搬入・設置を行いました。
クリーンルーム作業図

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クリーンルーム作業 4tユニックで輸送。スリングを使用して2Fへ搬入。通路が狭いため立てて台車に載せ搬入。設置場所で門型を設置し、除振台を寝かしていきます。
クリーンルーム作業 クリーンルーム作業
テーブルリフターを使用し、2つの除振台を連結し、除振台の脚を取り付けます。 除振台の足にコンプレッサーを取付け空気を送り込み、レベル出しを行います。
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